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VPM-5傳感器提供良好性能，并通過將可用的電導率真空測量儀的可用測量范圍擴展到1-3年來建立了新標準技術，再加上新型的準確數字信號處理架構和創新測量算法。

• 超寬的測量范圍為9年

• 通過S4-Connect USB程序員簡化配置

• 0-10 VDC可編程電壓輸出

• 數字RS-232或RS485接口

• 穩定Zero漂移補償

• 可選的固態設定點繼電器用于過程控制

• 磁滯1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

• 滯后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

• 模擬輸出分辨率：16位（150 µV）

• 模擬輸出更新率：124 Hz

• 響應時間（ISO 19685：2017）：<20 ms

• 溫度補償：+10至+50°C

• 固態繼電器設定點范圍：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）

• 固態繼電器接觸評級：50 V，100 MARMS / MADC

環境條件:

• 操作環境溫度：-20至+50°C

• 介質溫度：-20至+50°C

• 存儲環境溫度：-40至+120°C

• 烘烤溫度（非操作）：+120°C

• 安裝位置：任意

• 濕度，IEC 68-2-38：98％，無調

電源:

• 電源電壓：12-30 VDC

• 功耗：240 MW（max）

• 反極性保護：是

• 電壓保護：是

• 內部保險絲：100 mA（可回收）

• 質譜儀

• 掃描電子顯微鏡

• 爐熱處理

• 玻璃，光學，工具等的PVD涂層

• 制冷服務和制造

• 半導體處理